Strahlungsquelle

EP2853139 Art B1 13. Juli 2016

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2853139
Aktenzeichen
EP13720349
Anmeldetag
29. April 2013
Veröffentlichung
13. Juli 2016
Erteilung
13. Juli 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H05G2/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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