Waferplatte für die Immersionslithografie

EP2853943 Art B1 16. November 2016

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2853943
Aktenzeichen: EP14189351
Anmeldetag: 2. Juni 2004
Veröffentlichung: 16. November 2016
Erteilung: 16. November 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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