Mehrschichtfilmreflektor und Röntgenstrahlexpositionssystem

EP2854159 Art B1 20. Juni 2018

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2854159
Aktenzeichen: EP14186179
Anmeldetag: 24. Mai 2004
Veröffentlichung: 20. Juni 2018
Erteilung: 20. Juni 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F7/20G21K1/06G02B5/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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