Quellreagensbasierte Freisetzung einer Flüssigkeit mit Hohem Materialfluss zur Chargenweisen Abscheidung

EP2855730 Art B1 12. August 2020

Anmelder: ENTEGRIS INC., Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2855730
Aktenzeichen
EP13796903
Anmeldetag
31. Mai 2013
Veröffentlichung
12. August 2020
Erteilung
12. August 2020
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/44C23C16/448B01B1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ENTEGRIS INC.
Advanced Technology Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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