Verfahren zur Herstellung von einem Nanostrukturierten Artikel unter Verwendung von Nanoimprint-Lithografie, Nanostrukturierter Artikel und Verwendung davon
EP2856258
Art B1
6. Januar 2021
Anmelder: Micro Resist Technology Gesellschaft für chemische Materialien spezieller Photoresistsysteme mbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2856258
- Aktenzeichen
- EP13726428
- Anmeldetag
- 24. Mai 2013
- Veröffentlichung
- 6. Januar 2021
- Erteilung
- 6. Januar 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00G03F7/004G03F7/028
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Micro Resist Technology Gesellschaft für chemische Materialien spezieller Photoresistsysteme mbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Fachgebiete
Vertreten von
Feldmann, Ute
Berlin, Deutschland
31
Patente gesamt
9
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Prinz & Partner mbB
Prinz & Partner mbB · München