Verfahren zur Herstellung von einem Nanostrukturierten Artikel unter Verwendung von Nanoimprint-Lithografie, Nanostrukturierter Artikel und Verwendung davon

EP2856258 Art B1 6. Januar 2021

Anmelder: Micro Resist Technology Gesellschaft für chemische Materialien spezieller Photoresistsysteme mbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2856258
Aktenzeichen
EP13726428
Anmeldetag
24. Mai 2013
Veröffentlichung
6. Januar 2021
Erteilung
6. Januar 2021
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/00G03F7/004G03F7/028
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Micro Resist Technology Gesellschaft für chemische Materialien spezieller Photoresistsysteme mbH
Land
🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete

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