Anordnung zur Modifizierung der Eigenschaften einer Vielzahl von Strahlenbündeln, Lithografische Vorrichtung, Verfahren zur Modifizierung der Eigenschaften einer Vielzahl von Strahlenbündeln und Vorrichtungsherstellungsverfahren
EP2856260
Art A1
8. April 2015
Anmelder: ASML Netherlands BV 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2856260
- Aktenzeichen
- EP13720415
- Anmeldetag
- 6. Mai 2013
- Veröffentlichung
- 8. April 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G02B6/00H01S5/14
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands BV
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML Netherlands
ASML Netherlands B.V. ist die niederländische Kernsparte des weltweit führenden Herstellers von Lithografiesystemen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Veldhoven. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Optik und Fototechnik, ergänzt um Elektronik, elektrische Energietechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2020.
390 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Maas, Abraham Johannes
Veldhoven, Niederlande
118
Patente gesamt
10
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte