Optische Positionsmesseinrichtung

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP2857802

Aktenzeichen

EP14185047

Anmeldetag

17. September 2014

Veröffentlichung

14. September 2016

Erteilung

14. September 2016

Rechtsraum

EP

IPC

G01D5/38

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Positionsmesseinrichtung zur Erfassung der Position von zwei relativ zueinander beweglichen Objekten mit einer Maßverkörperung, die mit einem der beiden Objekte verbunden ist sowie einem Abtastsystem zur Abtastung der Maßverkörperung, die mit dem anderen der beiden Objekte verbunden ist. Über das Abtastsystem ist eine gleichzeitige Positionsbestimmung entlang einer ersten lateralen Verschiebungsrichtung als auch entlang einer vertikalen Verschiebungsrichtung der Objekte möglich. Hierzu sind auf Seiten des Abtastsystems zwei Abtaststrahlengänge ausgebildet, in denen jeweils aus interferierenden Teilstrahlenbündeln ausgangsseitig eine Gruppe phasenverschobener Signale erzeugbar ist. Über das Abtastsystem ist ferner mindestens ein dritter Abtaststrahlengang ausgebildet, über den eine Positionsbestimmung entlang einer zweiten lateralen Verschiebungsrichtung der Objekte möglich ist. Die Strahlung einer Lichtquelle ist über einen ersten Lichtleiter und eine für alle drei Abtaststrahlengänge gemeinsame Einkoppeloptik dem Abtastsystem zuführbar. Die in den drei Abtaststrahlengängen erzeugten interferierenden Teilstrahlenbündel sind über eine gemeinsame Auskoppeloptik in einen zweiten Lichtleiter einkoppelbar, der diese Strahlenbündel einer Detektoranordnung zuführt (Fig. 6).

Anmelder

Firma

Dr. Johannes Heidenhain GmbH

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete