Verfahren und Vorrichtung zur Wellenfrontmessung sowie Belichtungsverfahren und -Vorrichtung

EP2857820 Art A1 8. April 2015

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2857820
Aktenzeichen: EP13797892
Anmeldetag: 29. Mai 2013
Veröffentlichung: 8. April 2015
Rechtsraum: EP
IPC: G01M11/02G02B21/02G03F7/20H01L21/027G01J9/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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