Immersionsbelichtungsvorrichtung, Immersionsbelichtungsverfahren, und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung

EP2857902 Art B1 20. April 2016

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2857902
Aktenzeichen: EP14191452
Anmeldetag: 19. Januar 2007
Veröffentlichung: 20. April 2016
Erteilung: 20. April 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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