Verfahren zur Herstellung eines Soi-Wafers

EP2858092 Art B1 9. Oktober 2019

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2858092
Aktenzeichen
EP13794721
Anmeldetag
19. April 2013
Veröffentlichung
9. Oktober 2019
Erteilung
9. Oktober 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L21/306H01L27/12H01L21/762H01L21/308H01L21/322H01L21/20H01L21/265
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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Kanzlei
Wuesthoff & Wuesthoff München, Deutschland

Wuesthoff & Wuesthoff wurde 1927 in Berlin von Dr. Franz und Dr. Freda Wuesthoff gegründet, die erste deutsche Patentanwältin, und zog 1949 nach München. Schwerpunkte liegen in Biotechnologie und Life Sciences, beraten wird auch auf Chinesisch, Koreanisch und Japanisch.

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