Plasma-Unterstütztes Chemisches Gasphasenabscheidungs-Verfahren mit Erhöhter Plasmadichte und Vorrichtung zur Umsetzung des Verfahrens

EP2859131 Art B1 6. März 2019

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2859131
Aktenzeichen: EP13726698
Anmeldetag: 8. Mai 2013
Veröffentlichung: 6. März 2019
Erteilung: 6. März 2019
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/27H01J37/32C23C16/48

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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