Schmelztiefenbestimmung mittels eines Interferometrischen Infrarotverfahrens in einer Gepulsten Laserglühung

EP2859579 Art A1 15. April 2015

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2859579
Aktenzeichen: EP13803486
Anmeldetag: 30. Mai 2013
Veröffentlichung: 15. April 2015
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/324H01L21/66H01L21/67G01B11/06

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

10.794 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von