Korrosionsbeständige Elektroden für Laserkammern

EP2859627 Art B1 23. Mai 2018

Anmelder: Cymer, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2859627
Aktenzeichen: EP13800633
Anmeldetag: 23. Mai 2013
Veröffentlichung: 23. Mai 2018
Erteilung: 23. Mai 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C22C9/04H01S3/038H01S3/0971H01S3/225

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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