Euv-Anregungslichtquelle mit einer Laserstrahlquelle und einer Strahlführungsvorrichtung zum Manipulieren des Laserstrahls
EP2859783
Art B1
17. Mai 2017
Anmelder: TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing GmbH, TRUMPF Laser-und Systemtechnik GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2859783
- Aktenzeichen
- EP13726746
- Anmeldetag
- 29. Mai 2013
- Veröffentlichung
- 17. Mai 2017
- Erteilung
- 17. Mai 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H05G2/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing GmbH
TRUMPF Laser-und Systemtechnik GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Trumpf Laser- und Systemtechnik
Der Anmelder ist eine deutsche Gesellschaft des Maschinenbaukonzerns Trumpf mit Fokus auf Lasertechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Fertigungs- und Drucktechnik, ergänzt durch Kunststofftechnik, Optik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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