Transport- und Übergabeanordnung für Plattenförmige Substrate, Vakuumbehandlungsanlage und Verfahren zur Herstellung von Behandelten Substraten

EP2862200 Art B1 7. Oktober 2020

Anmelder: Evatec AG, Oerlikon Advanced Technologies AG 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2862200
Aktenzeichen
EP13725976
Anmeldetag
30. Mai 2013
Veröffentlichung
7. Oktober 2020
Erteilung
7. Oktober 2020
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/67B01L9/00C23C14/04
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Evatec AG
Oerlikon Advanced Technologies AG
Land
🇨🇭 Schweiz

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik
Vertreten von
Troesch, Jacques J Zumikon, Schweiz
82
Patente gesamt
11
Fachgebiete
5
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Verfahrens- & Trenntechnik Medizintechnik & Gesundheit
Zum Anwaltsprofil
Weitere Vertreter

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen