Flüssigzusammensetzung zur Reinigung, Verfahren zum Reinigen eines Halbleiterbauelements und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements

EP2863415 Art B1 16. November 2016

Anmelder: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2863415
Aktenzeichen: EP13804977
Anmeldetag: 6. Juni 2013
Veröffentlichung: 16. November 2016
Erteilung: 16. November 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02H01L21/311C11D7/06C11D3/04C11D3/28C11D3/30C11D3/43C11D7/32C11D11/00G03F7/42H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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