Polierkissen mit Polierender Oberflächenschicht mit einer Öffnung oder einem Loch über einer Transparenten Grundschicht
EP2872291
Art B1
9. August 2017
Anmelder: Cabot Microelectronics Corporation, Nexplanar Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2872291
- Aktenzeichen
- EP13728287
- Anmeldetag
- 29. Mai 2013
- Veröffentlichung
- 9. August 2017
- Erteilung
- 9. August 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B37/20B24B37/22B24B37/26B24D11/00B24D18/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Cabot Microelectronics Corporation
Nexplanar Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Cabot Microelectronics
Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.
290 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Price, Nigel John King
London, Großbritannien
2.373
Patente gesamt
34
Fachgebiete
28
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
J A Kemp LLP
J A Kemp LLP · London
-
J A Kemp
J A Kemp · London