Verfahren zur Zuführung von Abscheidungsmaterial, Verfahren zur Herstellung eines Substrats, Steuerungsvorrichtung und Abscheidungsvorrichtung

EP2873750 Art B1 5. Oktober 2016

Anmelder: Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2873750
Aktenzeichen: EP12886815
Anmeldetag: 19. Oktober 2012
Veröffentlichung: 5. Oktober 2016
Erteilung: 5. Oktober 2016
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/24C23C14/54

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Heavy Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern, der in Bereichen wie Energieerzeugung, Luft- und Raumfahrt, Schiffbau, Maschinenbau und Klimatechnik tätig ist und ein breites Spektrum an Industrieanlagen und -maschinen herstellt.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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