Kapazitive Drucksensoren für Hochtemperaturanwendungen
EP2873958
Art B1
7. August 2019
Anmelder: ROSEMOUNT AEROSPACE INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2873958
- Aktenzeichen
- EP14193262
- Anmeldetag
- 14. November 2014
- Veröffentlichung
- 7. August 2019
- Erteilung
- 7. August 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01L9/00G01L19/00G01L19/06
Abstract
A capacitive pressure sensor (100) includes a substrate wafer (114) and a diaphragm wafer (112). The substrate wafer defines a substrate recess (R") with a first depth (D2). The diaphragm wafer defines a diaphragm recess (R"') with a second depth (D3). The diaphragm wafer is bonded to the substrate wafer such that the substrate and diaphragm recesses form a height differentiated pressure chamber (126).
Anmelder
- Firma
- ROSEMOUNT AEROSPACE INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Rosemount Aerospace
US-amerikanisches Unternehmen, Teil von Collins Aerospace. Rosemount Aerospace entwickelt Sensoren und Messsysteme für Luftfahrzeuge, unter anderem für Luftdaten und Vereisungserkennung.
445 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Hall, Matthew Benjamin
London, Großbritannien
1.167
Patente gesamt
31
Fachgebiete
19
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Dehns
Dehns · London