Gst-Cmp-Schlämme

EP2875086 Art A1 27. Mai 2015

Anmelder: Cabot Microelectronics Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2875086
Aktenzeichen
EP13820061
Anmeldetag
12. Juli 2013
Veröffentlichung
27. Mai 2015
Rechtsraum
EP
IPC
C09K3/14H01L21/304C09G1/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Cabot Microelectronics Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cabot Microelectronics

Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.

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