Organosilanvorläufer für Ald/cvd-Siliciumhaltige Filmanwendungen

EP2875166 Art B1 11. April 2018

Anmelder: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2875166
Aktenzeichen
EP13819216
Anmeldetag
19. Juli 2013
Veröffentlichung
11. April 2018
Erteilung
11. April 2018
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/24C23C16/448C23C16/455
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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