Verfahren zur Reduzierung der Impedanz einer Titannitridelektrode

EP2876435 Art B1 2. Januar 2019

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2876435
Aktenzeichen
EP13193749
Anmeldetag
21. November 2013
Veröffentlichung
2. Januar 2019
Erteilung
2. Januar 2019
Rechtsraum
EP
IPC
G01N27/30
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
IMEC VZW
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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