Prüfanordnung
EP2876451
Art B1
4. Januar 2017
Anmelder: Tokyo Seimitsu Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2876451
- Aktenzeichen
- EP14193778
- Anmeldetag
- 19. November 2014
- Veröffentlichung
- 4. Januar 2017
- Erteilung
- 4. Januar 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01R1/067G01R31/26G01R1/04G01R31/28H01L21/683
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Tokyo Seimitsu Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Seimitsu
Tokyo Seimitsu ist ein japanischer Hersteller von Mess- und Fertigungsgeräten für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen vor allem Bearbeitungsverfahren und -vorrichtungen für die Wafer- und Chipherstellung.
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