Optisches Element, Optische Vorrichtung, Messvorrichtung und Screening-Vorrichtung
EP2876482
Art A1
27. Mai 2015
Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2876482
- Aktenzeichen
- EP13820496
- Anmeldetag
- 9. Juli 2013
- Veröffentlichung
- 27. Mai 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B21/06G01B11/00G01N21/27G01N21/64G02B5/26G02B5/28G02B21/16G02B27/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Nikon Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München