Tantalsputtertarget und Herstellungsverfahren dafür

EP2878699 Art B1 15. Juli 2020

Anmelder: JX Nippon Mining & Metals Corp. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2878699
Aktenzeichen
EP13866236
Anmeldetag
6. Dezember 2013
Veröffentlichung
15. Juli 2020
Erteilung
15. Juli 2020
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/34C23C14/14H01L21/285B21B1/22
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JX Nippon Mining & Metals Corp.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JX Nippon Mining & Metals

JX Nippon Mining & Metals Corporation ist ein japanisches Unternehmen der Nichteisenmetallindustrie, das Kupfer, Halbleitermaterialien und Metallverarbeitung herstellt, Teil der ENEOS-Gruppe.

1.069 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Vertreten von
Hoarton, Lloyd Douglas Charles München, Deutschland
1.651
Patente gesamt
34
Fachgebiete
27
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Software & Datenverarbeitung Medizintechnik & Gesundheit Metallurgie & Oberflächentechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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