Substrat für Hochauflösende Elektronische Lithografie und Entsprechendes Lithografieverfahren
Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2883110
- Aktenzeichen
- EP13745079
- Anmeldetag
- 2. August 2013
- Veröffentlichung
- 25. Mai 2016
- Erteilung
- 25. Mai 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/40G03F7/09G03F7/11G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
8.392 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Der Standort in Arcueil bei Paris firmierte als Marks & Clerk France, 2005 gegründet, Schwerpunkt europäische Patente in Elektronik, Informatik und Telekommunikation. 2022 von der Vidon-Gruppe übernommen und als Atout[PI] Laplace weitergeführt, einer der größten französischen IP-Beratungsverbünde.
-
Guérin, Michel
NoneArcueil