Ultrahochreine Lagerung und Ausgabe von Flüssigen Reagenzien

EP2883238 Art A1 17. Juni 2015

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2883238
Aktenzeichen
EP13828292
Anmeldetag
7. August 2013
Veröffentlichung
17. Juni 2015
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02// B01J19/02B01J4/00B65D25/14B65D25/38B65D43/02B65D85/00H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik Verpackungs- & Fördertechnik
Vertreten von
Bokinge, Ole Linköping, Schweden
557
Patente gesamt
30
Fachgebiete
13
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Elektronik & Schaltungstechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Hochbau & Gebäudetechnik
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