Verfahren und Vorrichtung für Abscheidungsverfahrenssynchronisation

EP2883240 Art B1 2. September 2020

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2883240
Aktenzeichen: EP13828359
Anmeldetag: 18. Juli 2013
Veröffentlichung: 2. September 2020
Erteilung: 2. September 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/768H01L21/285C23C14/54

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von