Verfahren zur Herstellung eines Halbleitersubstratprodukts und einer Ätzflüssigkeit

EP2883241 Art A1 17. Juni 2015

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2883241
Aktenzeichen: EP13827735
Anmeldetag: 24. Juli 2013
Veröffentlichung: 17. Juni 2015
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/311H01L29/66// H01L29/78

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIFILM Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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