Vakuumbehandlungsvorrichtung mit Substratstreuvorrichtung und Betriebsverfahren dafür

EP2883980 Art B1 8. Februar 2017

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2883980
Aktenzeichen: EP13196505
Anmeldetag: 10. Dezember 2013
Veröffentlichung: 8. Februar 2017
Erteilung: 8. Februar 2017
Rechtsraum: EP
IPC: B05D3/12B05C1/08B05C1/12B05C9/14B05C13/00B05C15/00B65G23/34C23C14/56C23C16/54C23C16/46C23C14/50C23C16/458B05C9/08C23C16/02G11B5/85C23C16/48H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

10.780 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Akustik, Musik & Datenspeicherung Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik Verpackungs- & Fördertechnik

Vertreten von