Verfahren zur Optischen Übertragung einer Struktur in ein Aufnahmemedium

EP2885677 Art B1 21. Dezember 2016

Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2885677
Aktenzeichen: EP13753263
Anmeldetag: 12. Juli 2013
Veröffentlichung: 21. Dezember 2016
Erteilung: 21. Dezember 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Forschungszentrum Jülich GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Forschungszentrum Jülich

Deutsche Großforschungseinrichtung der Helmholtz-Gemeinschaft mit Sitz in Jülich, gegründet 1956. Forschungsschwerpunkte sind Energie, Information und Gehirnforschung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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