Vorrichtung und Verfahren zur Erhaltung von Immersionsflüssigkeit in der Spalte unter einer Projektionslinse während des Wafer-Austauschs in einer Immersionslithografiemaschine

EP2887143 Art B1 2. November 2016

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2887143
Aktenzeichen: EP14200551
Anmeldetag: 17. März 2004
Veröffentlichung: 2. November 2016
Erteilung: 2. November 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03B27/32G03B27/42G03B27/58G03B27/52

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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