Vorrichtung zur Verhinderung von Mikroteilchen und von Staubmigration bei Geschichteten Bettreinigungsvorrichtungen

EP2892632 Art A1 15. Juli 2015

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2892632
Aktenzeichen
EP13765826
Anmeldetag
28. August 2013
Veröffentlichung
15. Juli 2015
Rechtsraum
EP
IPC
B01D53/04B01J8/02B01J8/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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