Substratübertragungsvorrichtung und Verfahren zum Bewegen von Substraten

EP2892834 Art B1 2. Mai 2018

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2892834
Aktenzeichen: EP12766015
Anmeldetag: 10. September 2012
Veröffentlichung: 2. Mai 2018
Erteilung: 2. Mai 2018
Rechtsraum: EP
IPC: B65G49/06C23C14/50C23C14/56H01L21/67H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verpackungs- & Fördertechnik

Vertreten von