Verfahren zur Herstellung eines Deckels für Optische Mems Verpackungen
EP2892844
Art B1
22. Juni 2016
Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2892844
- Aktenzeichen
- EP13771455
- Anmeldetag
- 27. September 2013
- Veröffentlichung
- 22. Juni 2016
- Erteilung
- 22. Juni 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B26/08H01L21/3065
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Fraunhofer-Gesellschaft
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