Strahlungsquelle
EP2896995
Art A1
22. Juli 2015
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2896995
- Aktenzeichen
- EP14151497
- Anmeldetag
- 16. Januar 2014
- Veröffentlichung
- 22. Juli 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20H01S3/09H05H7/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Siem, Max Yoe Shé
Amsterdam, Niederlande
151
Patente gesamt
19
Fachgebiete
5
Anmelder-Länder
Schwerpunkte