Verfahren zur Herstellung einer Epitaktischen Siliciumschicht

EP2898123 Art A1 29. Juli 2015

Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2898123
Aktenzeichen: EP13798753
Anmeldetag: 23. September 2013
Veröffentlichung: 29. Juli 2015
Rechtsraum: EP
IPC: C30B23/02C30B23/06C30B25/10C30B25/18C30B25/20C30B28/14C30B29/06C23C16/24C23C16/513H01L21/205H01L31/18H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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