Druckmanagement von Druckgeregelten Flüssigkeitsspeicher- und -Ausgabegefässen mit Druckspitzenschutz

EP2898254 Art B1 13. Juli 2022

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2898254
Aktenzeichen
EP13838514
Anmeldetag
20. September 2013
Veröffentlichung
13. Juli 2022
Erteilung
13. Juli 2022
Rechtsraum
EP
IPC
F17C13/04F17C13/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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