Verfahren zur Herstellung einer Dünnschicht einer MYx-Formel durch Atomlagenabscheidung

EP2899295 Art B1 14. September 2016

Anmelder: COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES, Centre National de la Recherche Scientifique, UNIVERSITE CLAUDE BERNARD - LYON 1, CPE Lyon Formation Continue et Recherche, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2899295
Aktenzeichen
EP15152387
Anmeldetag
23. Januar 2015
Veröffentlichung
14. September 2016
Erteilung
14. September 2016
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/44C23C16/46C23C16/56C23C16/30C23C16/455
Offizieller Volltext

Abstract

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COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
Centre National de la Recherche Scientifique
UNIVERSITE CLAUDE BERNARD - LYON 1
CPE Lyon Formation Continue et Recherche
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.

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🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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🇫🇷 Université Claude Bernard Lyon 1

Französische öffentliche Universität in Lyon mit Schwerpunkt Naturwissenschaften, Medizin und Technik. Zahlreiche Patente aus der Forschung in Chemie, Biomedizin und Materialwissenschaften.

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