Verfahren zur Herstellung einer Dünnschicht einer MYx-Formel durch Atomlagenabscheidung

EP2899295 Art B1 14. September 2016

Anmelder: COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES, Centre National de la Recherche Scientifique, UNIVERSITE CLAUDE BERNARD - LYON 1, CPE Lyon Formation Continue et Recherche, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2899295
Aktenzeichen: EP15152387
Anmeldetag: 23. Januar 2015
Veröffentlichung: 14. September 2016
Erteilung: 14. September 2016
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/44C23C16/46C23C16/56C23C16/30C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
Centre National de la Recherche Scientifique
UNIVERSITE CLAUDE BERNARD - LYON 1
CPE Lyon Formation Continue et Recherche
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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