Halbleitervorrichtung für optische Anwendungen und Verfahren zur Herstellung solch einer Halbleitervorrichtung
EP2899760
Art B1
29. August 2018
Anmelder: ams AG 🇦🇹
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2899760
- Aktenzeichen
- EP14152688
- Anmeldetag
- 27. Januar 2014
- Veröffentlichung
- 29. August 2018
- Erteilung
- 29. August 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L31/0203H01L31/0216H01L27/146H01L23/48
Abstract
A sensor (2) is arranged at a main surface (10) of a semiconductor substrate (1), and a filter (3) is arranged above the sensor. A through-substrate via (4) penetrates the substrate outside the region of the sensor. A semiconductor body is applied above the main surface and then partially removed at least in an area above the sensor. A portion of the semiconductor body remains above the through-substrate via as a frame layer (5). The filter is on a level with the frame layer.
Anmelder
- Firma
- ams AG
- Land
- 🇦🇹 Österreich
🇩🇪
ams OSRAM
ams OSRAM International GmbH ist ein deutsch-österreichischer Hersteller von Sensoren und optoelektronischen Bauteilen, entstanden aus dem Zusammenschluss von ams und Osram.
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