Messverfahren

EP2901101 Art B1 18. Mai 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2901101
Aktenzeichen: EP13776953
Anmeldetag: 27. September 2013
Veröffentlichung: 18. Mai 2022
Erteilung: 18. Mai 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G01B9/02G01M11/02G02B5/18

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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