Fotolithografischer Beleuchter für Gesteuerte Diffraktion
EP2901214
Art A1
5. August 2015
Anmelder: Safran Electronics & Defense, Shanghai Micro Electronics Equipment Co., Ltd., SAGEM DEFENSE SECURITE 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2901214
- Aktenzeichen
- EP13766352
- Anmeldetag
- 25. September 2013
- Veröffentlichung
- 5. August 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G02B27/09
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Safran Electronics & Defense
Shanghai Micro Electronics Equipment Co., Ltd.
SAGEM DEFENSE SECURITE - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Safran Electronics & Defense
Safran Electronics & Defense ist eine französische Tochtergesellschaft des Safran-Konzerns für Avionik, Optronik und Verteidigungselektronik mit entsprechenden Patenten.
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