Neuartige organische Dithiocarbamat-Tantalvorläufer und ihre Verwendung zur Gasphasenbeschichtung von tantalhaltigen Filmen
EP2902396
Art A1
5. August 2015
Anmelder: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2902396
- Aktenzeichen
- EP14305118
- Anmeldetag
- 30. Januar 2014
- Veröffentlichung
- 5. August 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C07F9/00C23C16/455H01L21/285
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Air Liquide
Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.
2.774 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Grout de Beaufort, François-Xavier
Paris, Frankreich
183
Patente gesamt
20
Fachgebiete
3
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Schwerpunkte