Organische Niobvorläufer und ihre Verwendung zur Gasphasenbeschichtung von Niob enthaltenden Filmen

EP2902398 Art A1 5. August 2015

Anmelder: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2902398
Aktenzeichen
EP14305140
Anmeldetag
31. Januar 2014
Veröffentlichung
5. August 2015
Rechtsraum
EP
IPC
C07F9/00H01L21/00H01L27/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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