Verfahren zur Bildung eines Feinen Musters
Anmelder: Korea Institute of Industrial Technology 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2903018
- Aktenzeichen
- EP13841594
- Anmeldetag
- 26. September 2013
- Veröffentlichung
- 24. November 2021
- Erteilung
- 24. November 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/203C23C14/34C23C14/12C23C14/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Korea Institute of Industrial Technology
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
Das Korea Institute of Industrial Technology (KITECH) ist eine südkoreanische staatliche Forschungseinrichtung für angewandte Industrietechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Fertigungs- und Drucktechnik sowie Metallurgie und Halbleitertechnik, ergänzt durch Verfahrenstechnik. Anmeldungen sind von 2002 bis in die Gegenwart belegt.
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Wallinger Ricker Schlotter Tostmann sitzt im Zentrum Münchens direkt bei Deutschem und Europäischem Patentamt, spezialisiert auf streitige Verfahren wie Einspruch, Beschwerde und Verletzung sowie Praxis zum Einheitlichen Patentgericht. Deckt Robotik, KI, IoT und Biotechnologie ab, von JUVE zu Deutschlands führenden IP-Kanzleien gezählt.