Röntgenstrahlenvorrichtung und Strukturherstellungsverfahren

EP2903398 Art B1 13. Dezember 2023

Anmelder: Nikon Corporation, Nikon Metrology NV 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2903398
Aktenzeichen: EP13841610
Anmeldetag: 26. September 2013
Veröffentlichung: 13. Dezember 2023
Erteilung: 13. Dezember 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H05G1/02H01J35/16G21K7/00H01J9/42B22D46/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
Nikon Metrology NV
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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