Reinigungssystem

EP2903727 Art A2 12. August 2015

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2903727
Aktenzeichen
EP13776898
Anmeldetag
30. September 2013
Veröffentlichung
12. August 2015
Rechtsraum
EP
IPC
B01D63/14B01D35/30B01D29/07B01D65/00F16L19/00F16L19/02
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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