Vorrichtung mit Mobilem Körper, Belichtungsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Artikels

EP2905804 Art B1 1. Mai 2019

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2905804
Aktenzeichen: EP13843307
Anmeldetag: 2. Oktober 2013
Veröffentlichung: 1. Mai 2019
Erteilung: 1. Mai 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01L21/027H01L21/68H02K41/03H02K7/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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