Belichtungsvorrichtung, Belichtungsverfahren, und Herstellugsverfahren eines Musters durch Lithographie

EP2905805 Art B1 22. Juli 2020

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2905805
Aktenzeichen: EP13844272
Anmeldetag: 2. Oktober 2013
Veröffentlichung: 22. Juli 2020
Erteilung: 22. Juli 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G01B11/00G01B11/26G03F7/20H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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