Wolfram-Sinterkörper-Sputtertarget und Verfahren zur Herstellung davon

EP2907891 Art B1 13. September 2017

Anmelder: JX Nippon Mining & Metals Corp. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2907891
Aktenzeichen
EP14769601
Anmeldetag
20. März 2014
Veröffentlichung
13. September 2017
Erteilung
13. September 2017
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/34C22C27/04H01L21/28H01L21/285
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JX Nippon Mining & Metals Corp.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JX Nippon Mining & Metals

JX Nippon Mining & Metals Corporation ist ein japanisches Unternehmen der Nichteisenmetallindustrie, das Kupfer, Halbleitermaterialien und Metallverarbeitung herstellt, Teil der ENEOS-Gruppe.

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